1、高效過(guò)濾器檢測(cè)目的和原理
高效過(guò)濾器現(xiàn)場(chǎng)安裝以后檢漏是確認(rèn)高效過(guò)濾器及配套的安裝靜壓箱，沒(méi)有發(fā)現(xiàn)泄漏或微量泄漏是在規(guī)范允許的范圍之內(nèi)。如果高效過(guò)濾器裝置經(jīng)檢漏是合格的，可以確保潔凈室的安全可靠的運(yùn)行，如此時(shí)室內(nèi)潔凈度仍未達(dá)標(biāo)，應(yīng)從潔凈室的其它方面查找原因。
高效過(guò)濾器安裝后的檢漏不同于過(guò)濾器廠家在工廠里的效率測(cè)試。后者僅對(duì)過(guò)濾器的效率和其它相關(guān)性能測(cè)試，而前者涉及高效過(guò)濾器和安裝過(guò)程中相關(guān)的多種因素而產(chǎn)生的泄漏。
高效過(guò)濾器安裝后檢漏通常在空態(tài)或靜態(tài)下進(jìn)行，同時(shí)建議在潔凈室風(fēng)量平衡及正負(fù)壓調(diào)試以后進(jìn)行，新建成的潔凈室或更換終端高效過(guò)濾器后均應(yīng)作檢漏測(cè)試。
檢漏時(shí)，從高效過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè)引入氣溶膠，并同時(shí)在高效過(guò)濾器的下風(fēng)側(cè)進(jìn)行掃描檢漏，以檢漏高效過(guò)濾器的過(guò)濾介質(zhì)，密封膠過(guò)濾器框架，密封墊片等處有無(wú)泄漏。
這里暫不討論管道內(nèi)及空調(diào)器內(nèi)的高效過(guò)濾器檢漏，只對(duì)安裝在潔凈室終端及相關(guān)凈化設(shè)備內(nèi)的高效過(guò)濾器的檢漏方法作一些簡(jiǎn)單的討論。
2、高效過(guò)濾器上游氣溶膠
將冷發(fā)霧方法產(chǎn)生的多分散相氣溶膠引入高效過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè)空氣中。使其達(dá)到需要的氣溶膠濃度。規(guī)范上要求以大于或等于 0.5μm 的微粒為準(zhǔn)。氣溶膠的材料有 DOP（鄰苯二甲酸二辛酯）、PAO（聚乙烯烴）、DOS（葵二酸二辛酯）等，這些氣溶膠的檢漏原理是一樣的。
規(guī)范上要求高效過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)的微粒濃度（≥0.5μm）必須大于或等于 3.5×104 粒子 /L。事實(shí)上，在空調(diào)器內(nèi)發(fā)塵，過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)的濃度較難達(dá)到要求，必須導(dǎo)入足夠數(shù)量的氣溶膠，且長(zhǎng)時(shí)間地發(fā)塵將會(huì)影響高效過(guò)濾器的使用壽命。所以，高效過(guò)濾器的檢漏，在高效過(guò)濾器送風(fēng)口的靜壓箱內(nèi)發(fā)塵為，不具備條件的，也可以考慮在送風(fēng)管上導(dǎo)入DOP 的氣溶膠。
3、高效過(guò)濾器檢測(cè)等速采樣
在有速度的氣流中采樣，采樣速度應(yīng)等于氣流速度，否則采樣濃度將大于或小于真實(shí)濃度，即氣流速度大于采樣速度，采樣濃度將大于真實(shí)濃度，反之，氣流速度小于采樣速度，采樣濃度將小于真實(shí)濃度。
假定高效過(guò)濾器下實(shí)際斷面風(fēng)速為 0.45 m/s，圓形取樣口直徑Ds 的計(jì)算：

V×1/4×πDs =Fa 2
Fa —— 儀器采樣量，28.3 L/min=472 cm3/s
V —— 過(guò)濾器面風(fēng)速0.45 m/s
經(jīng)計(jì)算 Ds=36. 5 mm
實(shí)際上儀器的取樣口直徑為 35 mm 或正方形30×30 mm，當(dāng)然取樣口也可以是長(zhǎng)方形的，經(jīng)計(jì)算此時(shí)的采樣速度為0.49 ～0.52 m/s，可以認(rèn)為是等速采樣。
根據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)組織 (ISO) 關(guān)于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的測(cè)試和測(cè)試方法 (ISO14644-3) 中公式計(jì)算：Sr ≤ Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np=50×0.005%×10×3.5×472/Np式中：Sr －探管掃描速率 cm/s；
Cc －被測(cè)過(guò)濾器上風(fēng)向氣溶膠濃度cm-3 (50粒子/cm3)；
Ps －被測(cè)過(guò)濾器易穿透粒徑大允許整體穿透率；
PL －被測(cè)過(guò)濾器的大允許泄漏；
K －一個(gè)因數(shù)，表示PL 可能比Ps 大多少倍；
Dp －平行于掃描方向的探管尺寸(cm)，本文使用圓形采樣管，直徑35 mm；
Fs －離散粒子計(jì)數(shù)器的標(biāo)準(zhǔn)樣品流量，
Fs=472 cm3/s (28.3 L/min)；
Np －預(yù)期量，表現(xiàn)出泄漏特征的粒子計(jì)數(shù)值；
用下式計(jì)算：
Np=Cc×Ps×K×Fs
Np=Cc×Ps×K×Fs=50×0.005%×10×472=11.8個(gè)，代入Sr式得： Sr=Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np=50×0.005%×10×3.5×472/11.8= 3.5(cm/s)
每個(gè)測(cè)點(diǎn)實(shí)際獲得時(shí)間 Ts=Dp/Sr=1 s
所以，采樣口的掃描速率是和上游粒子濃度穿透率、K 值、采樣口的口徑、采樣流量有著密切的關(guān)系。特別需要指出的是，如采用28.3 L/min 的粒子計(jì)數(shù)器和2.83 L/min 的粒子計(jì)數(shù)器，他們的掃描速率可以相差十倍，也就是講，每檢測(cè)一個(gè)過(guò)濾器的時(shí)間也相差十倍。
規(guī)范要求掃描速率為 5 ～20mm/s ( 其實(shí)這個(gè)速率是應(yīng)該根據(jù)具體情況可以計(jì)算調(diào)整的，一般建議采用28.3 L/min 的粒子計(jì)算器，掃描速率在30 ～5mm/s 左右 )。
規(guī)范指出“對(duì)于高效過(guò)濾器，應(yīng)不大于過(guò)濾器出廠合格透過(guò)率的2 倍，對(duì)于超高效過(guò)濾器，應(yīng)不大于出廠合格透過(guò)率的3 倍?！倍鶕?jù)條文說(shuō)明的第四節(jié)評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)則相反，高效過(guò)濾器的透過(guò)率是 3 倍，而超高效過(guò)濾器的是2 倍。從提供的數(shù)據(jù)來(lái)看，應(yīng)該是以條文為準(zhǔn)。
如果上游濃度為 3.5×104 粒子/L，0.5μm 的高效過(guò)濾器效率是99.99％，下游濃度為3.5×104×0.01%×3=10.5。如果粒子計(jì)算器檢測(cè)≤ 10 應(yīng)為合格，否則應(yīng)進(jìn)行修復(fù)，修補(bǔ)總面積不能超

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