1、百級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于3520(pc/m3)，5微米的最大容許粒子濃度小于293(pc/m3)，就是百級無塵車間0.5微米的灰塵顆粒小于100萬個，百級無塵室5微米的灰塵顆粒小于0萬個(不允許有)。

2、千級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于35200(pc/m3)，5微米的最大容許粒子濃度小于2930(pc/m3)，就是千級無塵車間0.5微米的灰塵顆粒小于900萬個，千級無塵車間5微米的灰塵顆粒小于5萬個。

3、萬級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于352000(pc/m3),5微米的最大容許粒子濃度小于29300(pc/m3)，就是萬級無塵車間0.5微米的灰塵顆粒小于9000萬個，萬級無塵車間5微米的灰塵顆粒小于60萬個。

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