此環(huán)保設(shè)備通常安裝在潔凈室的送風(fēng)末端，并且一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上部分分為風(fēng)機(jī)模塊，下部分分為過濾器。而根據(jù)潔凈度的要求，過濾器可分為為不同等級(jí)的高效或超高效過濾器，為潔凈室提供潔凈空氣。風(fēng)機(jī)模塊除了要克服FFU下部分高效過濾器的阻力，還要克服整個(gè)循環(huán)風(fēng)所有通道部件的所有阻力，從而維持了設(shè)定的運(yùn)行風(fēng)速。FFU系統(tǒng)具有設(shè)計(jì)施工簡便，風(fēng)速調(diào)節(jié)靈活，潔凈區(qū)易于變更等特點(diǎn)，因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統(tǒng)形式之一。

FFU具有特點(diǎn)：

 第一：要具有靈活性。因?yàn)镕FU是自帶動(dòng)力的，它不受地域的限制。在一個(gè)偌大的潔凈廠房里，可以根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，伴隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房的布局必須要做出相應(yīng)的調(diào)整，它的靈活性使這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會(huì)帶來二次投資；

第二：可再利用性。理論上講，一時(shí)不用的FFU設(shè)備，可以拆卸下來，密封好，妥善保管，留到下次再使用；

第三：負(fù)壓通風(fēng)。這是FFU設(shè)備特殊的特點(diǎn)。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對(duì)于潔凈廠房而言是負(fù)壓的。因此，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會(huì)受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單又安全；

第四：縮短建設(shè)周期。使用設(shè)備省掉了風(fēng)管的制作以及安裝，因?yàn)轱L(fēng)管在潔凈工程中，已經(jīng)占掉了很大的建設(shè)周期；

第五：減少運(yùn)行的成本。雖然在選用FFU設(shè)備時(shí)，初期的投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)還要高，但在后期運(yùn)行中，完全可以突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)。

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