隨著28納米工藝技術的成熟，28納米工藝產(chǎn)品需求量也是日益漸增。

同時，隨著“中國制造2025”戰(zhàn)略的實施，很多高新科技領域對集成電路的需求十分巨大，對大規(guī)模集成電路的設計生產(chǎn)、封裝環(huán)節(jié)要求也會越來越高。

大規(guī)模集成電路的制造，利用了各種各樣的設備和工藝技術。專業(yè)的技術人員雖然在自己的工藝技術方面精益求精，但是他們對工藝生產(chǎn)情況并不一定十分了解。

然而，個人負責的設備和工藝生產(chǎn)給潔凈室內(nèi)的環(huán)境帶來的不良影響，他們卻很容易疏忽掉。

今天，小編將與大家分享電子潔凈室都有哪些污染源。

電子潔凈室污染因素：

一、電磁噪聲

通過大電流的氧化爐等設備的電纜和反復控制通斷的電磁開關，高頻振蕩等產(chǎn)生的電磁噪聲，影響電子束掃描設備的掃描精度。其影響程度與發(fā)生源的距離成反比。

二、振動

設備內(nèi)的真空泵電機工作時會把振動經(jīng)地板傳遞到微細加工設備和顯微鏡等精密設備儀器上，影響它們的工作精度。

應在振源和怕受振動的設備下安裝空氣彈簧減震器，以達到衰減振動的目的。

三、生銹

酸用通風罩局部排風量不足時，酸霧氣擴散于室內(nèi)，腐蝕室內(nèi)設備的金屬部分，就是不銹鋼裸露在含氯氣的空氣中，也會受腐蝕生銹。

處理酸的最有效的方法是采用密閉通風罩，保證足夠的局部排風量。

除了上述這些大家熟知的原因之外，器材和設備的搬移和大修施工時的污染問題。

這些污染并不只是由于人的移動造成的，設備移動也會揚起已落在地板表面和器材上的塵埃。

特別是更換設備時養(yǎng)護地板，搬進小工具或很多搬運工進出潔凈室，這些情況會導致室內(nèi)的懸浮塵埃量比平時大一百倍以上。

對潔凈室局部改造的施工中，通常人在地板下鋪設管道或者坐在地板上進行作業(yè)。這種施工有時切割管道，于是聚氯乙烯管和不銹鋼等切屑粉末飛揚出來。

所以大修時盡管周圍掛上檔布以養(yǎng)護，但由于施工人員進進出出，受污染的不僅僅是局部范圍，而且全室都受嚴重污染。

在潔凈室內(nèi)，只用有人在操作，有設備在運行，就會發(fā)塵。這些塵埃并非隨著循環(huán)氣流為高效過濾器所捕集，一部分塵?？傄e落在地板、墻壁、設備表面上。應清除這些積塵，以保持潔凈室的清潔。

總體來說，潔凈區(qū)在線監(jiān)測系統(tǒng)是十分必要的，可以24小時監(jiān)測潔凈區(qū)，從而可以及時發(fā)現(xiàn)問題，并解決。

昆山昌瑞空調(diào)凈化技術有限公司，專注從事空氣過濾器系列產(chǎn)品（初/中/高效、化學過濾器等）、潔凈室凈化設備（拋棄式/可更換式/自動卷繞式過濾器、高效送風口、FFU高效過濾器凈化機組）的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和售后。